Schwingungswaage

Schwingungswaage,

 

Vorrichtung zur Messung dünner Schichten, wie sie z. B. durch Aufdampfen unter Vakuum entstehen. Das wesentliche Element der Schwingungswaage ist ein Schwingquarz, der durch eine dünne, auf seiner Oberfläche abgeschiedene Substanzschicht verstimmt wird. Die relative Verschiebung der Eigenfrequenz f des Schwingquarzes, Δf /f, beträgt etwa Δm /M, wobei m die Masse der aufgedampften Schicht ist und M die Masse des Quarzes unter der bedampften Fläche. Wegen der hohen Güte des Schwingquarzes können mit der Schwingungswaage sehr kleine Massen(belegungen) gemessen werden.